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性能特点：
֍采用特殊材质反应腔，能耐高温 ֍高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长 ֍使用高精度气体流量计，高稳定性 ֍采用纯净的石英窗 ֍设备安全性高、可靠性强、重现性好 ֍方便工艺人员沉积工艺的研发和优化 |
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